X射线微焦点电子元件检测系统

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微焦点实时成像检测系统
 
  丹东华日理学电气股份有限公司(简称HRE)自主研发的微焦点X射线源,技术指标已经达到国际同类产品水平。微焦开放式射线源配合数字平板探测器组成的X射线微焦成像检测系统,可以得到高分辨率的数字图像。将图像效果呈现出了高放大倍率及高分辨率,特别适合检测小工件或微小缺陷。如电子元器件,半导体,电池,医疗器具,塑料产品等等。HRE公司根据市场应用开发出的针对行业检测的系统,如PCB板检测系统,电池检测系统等,通过软件操作实现缺陷检测,并可对缺陷进行自动的判别,精确的测量等。随着计算机技术的发展,微焦射线源被用于了计算机断层扫描技术中,形成了微焦的高分辨率的工业CT系统。HRE公司采用了高稳定性的机械系统为基础的设计,配合控制软件自动化操作和图像软件的高效分析,为用户体验到检测更加全面,操作更加简便的检测系统。

产品特点
  ■ 管头采用开放式设计,管头的所有部件均可更换,寿命无限长。
  ■ 控制系统采用模块化设计,结构简单,集成度高,体积小,便于维护保养。
  ■ 采用以太网实现高压发生器,聚焦电路等模块与电脑的连接,连线简单。
  ■ 各模块均采用32位ARM处理器作为控制核心。
  ■ 系统具有自校准功能以达到最佳性能。
  ■ 带有光电隔离I/O口,可以与PLC连接。
 
应用范围
  ■ 工业产品方面如铝铸件的孔隙及夹杂类缺陷,复合材料的缺陷检测等;
  ■ 自动化产品方面如电子控制单元,电池,微型机械装置,电缆接头等;
  ■ 电子类产品方面如各类封装的电路板或电子器件,焊接类缺陷,多层的电路板或无元器件的裸板等;
          包括各类半导体元器件的缺陷检测;
  ■ 医疗设备方面可检测如注射器,吸入器等医疗用品。

系统组成
  ■ 开放式微焦点x射线管
          开放式:采用开放式封装结构。
          微焦点:通过电场聚焦与电磁聚焦相结合使电子聚焦的方式,来获取微米级焦斑
  ■ 真空系统
          体积小、振动小、干燥无污染。
          无油系统。
          极限真空度高。
          任意角度摆放。
  ■ 控制系统
          控制系统采用模块化设计,集成度高,体积小。
          各模块均采用32位ARM处理器作为控制核心。连续长时间运行稳定,控制精度高,响应速度快。
          系统具有自校准功能以达到最佳性能。
  ■ 高压系统
          160kV阴极高压发生器;
          高压稳定可控、最小电压调节可达0.1kV;
          高灵敏的栅极高压,管电流稳定可控;
          可长时间连续工作,稳定耐用;
  ■ 冷却系统
          冷却分为自然冷却与强制冷却。
          透射式微焦点X射线管采用自然冷却方式。
          反射式微焦点X射线管采用水冷进行强制冷却。


技术参数
型号 MX T-160/T1 MX T-160/R
名称 开放式透靶单透镜微焦点X射线管 开放式反射透靶微焦点X射线管
管电压调节范围 20 -160kV 20 -160kV
管电压控制精度 0.1kV 0.1kV
管电流调节范围 1-1000 μA 1-300 0μA
管电流控制精度 ±0.1  μA  μA
靶功率(MAX) 10W 160W
JIMA分辨率 3μ 3μ
靶类型 透射式 反射式
辐射角度 160° 30°
焦点到物体的最小检测距离 0.25mm 4mm